Programa Institucional de Iniciação Científica - ISSN 2526-4699, XIX - JORNADA DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA - JIC - 2023

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MICRO-FABRICAÇÃO DE SENSORES S.A.W. BASEADOS EM FILMES FINOS A PARTIR DE RESULTADOS DE SIMULAÇÃO
Pedro Henrique Campos Ramalho, Bruno Luis Soares De Lima

Última alteração: 2023-12-12

Resumo


Atualmente, a poluição está se tornando um problema significativo nas áreas urbanas. Portanto, é necessário monitorar esses gases para garantir a qualidade do ar. Com isso em mente, surgiu a necessidade de desenvolver uma maneira rápida e precisa de medir os gases, que também seja relativamente de baixo custo. Sensores de ondas acústicas de superfície (S.A.W.) são sistemas micro eletromecânicos (MEMS) que dependem da modulação das ondas acústicas de superfície para detectar fenômenos físicos. Essa tecnologia foi introduzida por Wöhltjen e Dessy em 1979 para aplicações de detecção química.

Este trabalho propõe o desenvolvimento de um sensor com base nos parâmetros estabelecidos por meio dos resultados da simulação no software COMSOL Multiphysics® e uma eletrônica para ler os dados coletados pelos sensores.


Palavras-chave


S.A.W. ; Sputtering ; eletrônica

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