INFLUÊNCIA DO NIÓBIO NAS PROPRIEDADES ÓPTICAS E ELÉTRICAS DO DIÓXIDO DE TITÂNIO PARA APLICAÇÕES EM ÓXIDOS TRANSPARENTES E CONDUTORES.

Abstract

A pesquisa de filmes finos de dióxido de titânio dopados com nióbio empregando-se a técnica de Pulverização Catódica Pulsada de Alta Potência (HiPIMS) tem emergido nos últimos anos devido às suas potenciais aplicações óticas. Neste trabalho é apresentada uma revisão da literatura sobre os assuntos relacionados tanto a esses tipos de filmes quanto a técnica Pulverização Catódica Pulsada de Alta Potência. Desde os materiais utilizados, no caso titânio (um material que é amplamente distribuído no Universo é presente na Terra e pode ser detectado também em meteoritos, na Lua, no Sol e em outras estrelas), nióbio (descoberto em 1801 pelo químico europeu Charles Hatchett na qual relatou um material similar ao tântalo e o denominou colúmbio, porém foi oficialmente reconhecido como um elemento químico só em 1949. O termo colúmbio ainda é muito utilizado na metalurgia estadunidense) e dióxido de titânio, passando por suas aplicações, fases do dióxido de titânio, nióbio e a importância nacional. Além disso passando por filmes finos; nióbio e sua compatibilidade química com titânio; definição e história do plasma; pulverização e vantagens da pulverização catódica pulsada em comparação com as demais. Magnetron sputtering, que é um dos métodos de se chegar ao dióxido de titânio dopado com nióbio que também é encontrado na literatura, partindo da técnica ao controle das condições termodinâmicas; chegando a caracterização dos filmes (Medidas de resistividade; Ensaio UV-Vis e - Difração de raios-X).

Palavras-chave: dióxido de titânio; sputtering; nióbio.