DEPOSIÇÃO DE FILME DE CARBONO TIPO DIAMANTE SOBRE A LIGA TI-6AL-4V

Abstract

Filmes de carbono tipo diamante (Diamond-like-Carbon, DLC) possuem excelentes propriedades, como por exemplo alta dureza, resistência ao risco, excelente resistência à corrosão e biocompatibilidade. Essas propriedades permitem que esse material seja utilizado em diversas setores industriais, tais como aeronáutica e saúde. Uma das formas de produzir esse filme é através da técnica magnetron sputtering, utilizando a tecnologia de plasma. Porém, a adesão entre o filme e o substrato de materiais metálicos pode ser prejudicada, devido a tensões internas do filme. Uma forma de solucionar esse impasse é mediante a intercamadas. Neste trabalho foram depositados filmes finos de carbono tipo diamante com e sem intercamada de cromo, através da técnica de magnetron sputtering, e analisado a adesão ao substrato e sua estrutura, por meio do indentador de Rockwell C e espetroscopia Raman